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双轴XY-Theta平台

发布时间: 2023-12-21

双轴XY-Theta平台

XYθ工作台用于高精度光学检测应用。该XY工作台由PIX 有铁芯直线电机驱动,具有高速度、高精度和低整定时间,并针对高动态应用进行了优化。 详情联系:13424317800】


主要特点:

1、高精密双轴X-Y定位;

2、集成高精密力矩电机;

3、适合空间有限应用的紧凑式设计;

4、每个轴过程不间断;

5、行程可达0.3mX1.0m;


应用:

1、自动组装;

2、半导体晶圆检测;

3、精密微机械加工;


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