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双轴XY-Theta平台
发布时间: 2023-12-21
XYθ工作台用于高精度光学检测应用。该XY工作台由PIX 有铁芯直线电机驱动,具有高速度、高精度和低整定时间,并针对高动态应用进行了优化。 【详情联系:13424317800】
主要特点:
1、高精密双轴X-Y定位;
2、集成高精密力矩电机;
3、适合空间有限应用的紧凑式设计;
4、每个轴过程不间断;
5、行程可达0.3mX1.0m;
应用:
1、自动组装;
2、半导体晶圆检测;
3、精密微机械加工;
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