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13424317800XY通光孔平台
平台专为高速、高精度、低整定时间而设计。该平台适合高精度应用，从需要高动态和微米级直线度的双面晶圆加工，到需要高精度和精确几何性能的DX B无铁芯直线电机驱动的准静态光学量测。【详情联系：13424317800】
主要特点：
1、特别适用于中心通光孔的检验应用；
2、集成XY精密直线电机平台；
3、出色的几何性能(平面度士 10 um,XY正交度士5arc-sec)；
4、集成电缆管理；
应用：
1、自动光学检验；
2、半导体晶圆检测；
3、视觉检测；
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