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13424317800平面空气轴承XYZ Theta龙门架
系统在不影响精度、重复性或加工量的情况下，适用于高速和大负载。强大的PBA直驱电机达到了市场上最快速度和最高加速度，编码器确保了反馈和控制功能，比如龙门模式、伺服助力和输入整形保持完美的精度。
系统用于多种工艺应用，如自动光学检查、分配、拾取和放置、自动装配。【详情联系：13424317800】
主要特点：
1、超平稳运动；
2、由空气轴承技术驱动；
3、高速且速度波动小；
4、便于维护；
应用：
1、特别适合晶圆刻线应用；
2、玻璃基板曝露；
3、晶圆缺陷检测设备；
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