PAS系列校准模组

发布时间： 2023-12-21

PAS系列微型平台外形超薄，结构紧凑、其3轴结构可实现XYθ三向运动。

在对精度、重复定位精度以及低速/推力波动有苛刻要求的闭环短行程定位应用中，这款平台是理想之选。

PBA PAS 载物台由 PBA直线电机提供动力，内置精密交叉滚柱导轨，提供高刚性以补充PAS 系列具有高加速能力，该模块具有极低的电气/机械时间常数和零滞后。

PBA PAS校准平台与高分辨率线性编码器相结合，确保高精度定位操作，无间隙。适用于半导体和液晶相关制造设备等图像处理的对准处理，以及需要清洁环境的测量设备和检查仪器的定位机构。

特点： 1.紧凑、超薄 ；2.交叉滚子导轨，具有出色的精度和刚度；3.零齿槽效应、零背隙、无滞后；4.移动重量轻，响应快速；5.集成高精度线性编码器；6.可靠性高；7.可堆叠配置；

应用领域：1.校准过程；2.检测取放；3.点胶；4.打印；5.激光打标；

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